淬火设备淬火件回火(主要是低温回火)后，其组织未完全稳定，应力也消除不彻底，在长期使用过程中，会继续发生转变，导致组织、尺寸的变化，使工件失去应有的精度。因此，对于精密工件，在淬火、淬火设备回火或半精、精加工后还要进行稳定化处理，以稳定组织，消除应力，保证工件的尺寸精度。
    稳定化处理(或称为低温时效)温度一般比低温回火温度低20—50~C(常采用100～160qC)，保温时间一般为十几甚至几十个小时，用以稳定组织和最大限度地减小内应力，从而使尺寸稳定。有的工件回火后经多次磨削加工，还进行多次稳定化处理。
    淬火设备稳定化处理主要用于精密刀具、量具、丝杠、主轴、油嘴液压泵偶件等。如尺寸为Ф70ram x 1590mm的CrMn钢铲床精密丝杠加工工艺路线为：下料一正火一球化退火一粗车外圆及螺纹一去应力处理一粗磨外圆、半精车螺纹、铣键槽一淬火、回火一粗磨外圆及螺纹一稳定化处理一精磨外圆及螺纹。
    有的精密工件如38CrMoAlA磨床主轴于调质并精车后，在低于其高温回火温度下进行的热处理主要是为去除加工过程中产生的应力，通常称之为去应力处理。
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